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... MCS100 是一款结构紧凑、响应速度快的空气质量流量传感器，配备 µF（微流）传感器芯片。MCS100 根据气体流量的标准状态（20°C、1 atm）输出质量流量信号，无需温度或压力补偿。MCS100 除具有宽量程能力外，还可提供各种流量范围。MCS100 适用于物理学和工业应用中的各种流量测量。 MCS100 微型质量流量传感器的特点包括 -体积小、重量轻：33.5*10.5*17.0 毫米，仅 9 克（不含电缆） -快速响应时间：最长 5 毫秒 -高精度和高重复性：精确度+/-5%FS，重复性：+/-2.0%FS（取决于型号） -对称结构可测量正/负流量 -低功耗：24 ...
... CMS 是一种高度可靠、用途广泛的气体质量流量计系列，采用 µF（微流）传感器作为传感元件。µF 传感器是一种 MEMS 热式质量流量传感器，能够测量超低流量。µF 传感器与先进的通道设计技术相结合，实现了高精度、高量程和低成本。 CMS 气体质量流量传感器的特点包括 - 微型流量传感器具有 ±3% RD 的高精度（标准型号） - 0.1 升/分钟的高分辨率 功能包括 - 流量/集成流量指示 - 模拟输出 - 事件输出 - 模拟输出缩放 - 微型流量传感器无需在流量计上游安装直通管道 - ...
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