质量流量传感器 CMS

燃气热质量流量MEMS

CMS 是一种高度可靠、用途广泛的气体质量流量计系列，采用 µF（微流）传感器作为传感元件。µF 传感器是一种 MEMS 热式质量流量传感器，能够测量超低流量。µF 传感器与先进的通道设计技术相结合，实现了高精度、高量程和低成本。 CMS 气体质量流量传感器的特点包括 - 微型流量传感器具有 ±3% RD 的高精度（标准型号） - 0.1 升/分钟的高分辨率 功能包括 - 流量/集成流量指示 - 模拟输出 - 事件输出 - 模拟输出缩放 - 微型流量传感器无需在流量计上游安装直通管道 - 一个专用的 CMW100A 多通道指示器最多可连接五个 CMS 单元 其他应用 - 空气 - 氮气 - 氧气 - 氩气 - 氢气 - 氦气 - 二氧化碳 - 丙烷 - 丁烷及更多